一种清除III族混晶氮化物沉积物的回收装置及方法

摘要

本发明公开了一种清除HVPE设备中III族混晶氮化物沉积物的回收装置及方法。本发明设计包括了主槽、防壁流挡圈、导流槽及收集器的III族混晶氮化物沉积物的回收装置，并利用腐蚀性气体在高温下对其具有腐蚀分解作用，有效地回收高温分解后的液态氮化物，解决反应腔体中直管与弯管之间严重堵塞及其高温分解产物的无定向流动等问题。本发明装置及方法，其结构合理紧凑、操作简便，能更好地保证被分解的混晶III族氮化物液体流聚到指定区域，便于收集清理，防止腔室的堵塞与污染，增加HVPE设备的使用寿命，极具实用价值。