一种太赫兹近场显微成像检测仪

摘要

本发明公开了一种太赫兹显微成像检测仪，包括平板以及长方体抛物面镜，所述的平板上依次设置有位于入射光路上的入射抛物面镜组、反射平面镜组和透射抛物面镜组以及位于反射光路上的聚波平面镜组、出射平面镜组和出射抛物面镜，所述的入射抛物面镜组上设置有抛物面镜，所述的透射抛物面镜组上设置有透射抛物面镜，所述的长方体抛物面镜前方设置有金属纳米探针；本发明采用双直线导轨移动椭圆形平面镜，实现两种测量方式迅速切换，太赫兹波均可汇聚到针尖和样品之间，从而实现两种测量方式的组合，以此保证了太赫兹反射式近场显微成像、太赫兹透射式近场显微成像的测量精度，解决了不同样品情况下不同测量方式的组合问题。