法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-07-23
授权
授权
2017-12-19
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N21/47 申请日:20170531
实质审查的生效
2017-12-19
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 21/47 申请日:20170531
实质审查的生效
2017-11-24
公开
公开
2017-11-24
公开
公开
2017-11-24
公开
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机译: 身体例如反射镜,一种用于微光刻设备的确定方法,包括通过探测器信号确定物体的相对位置,该探测器信号具有有关部分测量光束在探测器表面上的撞击位置的信息
机译: 用传感器测量激光在管子切割机上加工或反射的辐射的方法
机译: 漫反射和镜面反射测量方法具有在至少两个光电探测器的检测平面上接收的漫反射分量,光谱反射分量和透射分量