驱动振动致动器的方法、振动驱动装置及机械设备

摘要

驱动振动致动器的方法、振动驱动装置以及包括该振动驱动装置的机械设备。振动致动器包括振动元件和与弹性体压力接触的被驱动元件，振动元件包括作为机电能量转换元件的压电元件和接合至压电元件的弹性体。通过向所述压电元件施加驱动信号而在振动元件中激励驱动振动，由此使振动元件和被驱动元件相对于彼此运动。驱动振动是至少n阶振动与2n阶振动所合成的振动，n为自然数。