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一种直波导型电光相位调制器及其制备方法

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摘要

本发明公开了一种直波导型电光相位调制器及其制备方法，电光调制器具有平板电容型结构，包括相当于介质层的单晶与单晶上下表面的电极层。单晶为二元(1‑x)Pb(Mg

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1. 一种直波导型电光相位调制器及其制备方法 [P] . 中国专利： CN107219646B . 2019.07.23
2. 一种直波导相位调制器、集成组件及制备方法 [P] . 中国专利： CN113281550A . 2021-08-20
3. A process for preparation of planar, optical waveguides useful for optical, electrooptical, or hybrid systems or for the preparation of electrooptical structural elements or hybrid electrooptical guide plates [P] . 德国专利： DE10252563A1 . 2004-01-29

机译：一种用于光学，电光或混合系统的平面光波导的制备方法，或用于制备电光结构元件或混合电光导板的方法
4. Electro-optical Phase Modulator Having Stitched-in Vacuum Stable Waveguide with Minimized Conductivity Contrast [P] . 美国专利： US2017370723A1 . 2017-12-28

机译：具有最小电导率对比度的真空稳定插入式波导的电光相位调制器
5. Electro-optic waveguides and phase modulators and methods for making them [P] . 欧洲知识产权局专利： EP0635735A1 . 1995-01-25

机译：电光波导和相位调制器及其制造方法