公开/公告号CN107036716B
专利类型发明专利
公开/公告日2019-07-26
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院微电子研究所;
申请/专利号CN201710278540.X
申请日2017-04-25
分类号
代理机构北京华沛德权律师事务所;
代理人房德权
地址 100029 北京市朝阳区北土城西路3号
入库时间 2022-08-23 10:37:08
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-07-26
授权
授权
2017-09-05
实质审查的生效 IPC(主分类):G01J5/12 申请日:20170425
实质审查的生效
2017-09-05
实质审查的生效 IPC(主分类):G01J 5/12 申请日:20170425
实质审查的生效
2017-08-11
公开
公开
2017-08-11
公开
公开
2017-08-11
公开
公开
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