红外热电堆温度传感器的自测试和自校准系统

摘要

本发明公开了一种红外热电堆温度传感器的自测试和自校准系统，实现红外热电堆温度传感器在片上电激励下的自测试和自校准。其特点在于根据传统的MEMS工艺，为红外热电堆温度传感器提供电激励的同时，能够利用片上激励，对热电堆输出的信号进行放大，模数/数模转换和数字处理，从而实现对红外热电堆温度传感器片上响应率的自测试和自校准。优化了外部环境对热电堆温度传感器响应率的影响，减少了使用片外高精度的设备产生的测试和校准费用。