在光输出面上具有衍射膜的光发射器件及其制造方法

摘要

本发明以高效率、低成本提供一种实用的微型光发射器件，其在光输出面上具有光衍射膜。该光发射器件(LD)包括形成在其光输出面上的衍射膜(DF)；该衍射膜包括一个透明DLC(似金刚石碳)层；并且，该DLC层包括一个折射率调制型衍射光栅，该衍射光栅包含具有相对较高折射率的局部区域和具有相对较低折射率的局部区域。