用于甲烷气体检测的气敏传感器的制作方法

摘要

本发明用于甲烷气体检测的气敏传感器的制作方法，涉及借助于测定材料的物理性质来检测物体，是一种利用热电偶检测原理制备催化式甲烷传感器的方法，步骤是：S1：陶瓷电极衬底制备；S2：催化敏感材料制备；S1＋S2的下一步为S3：印刷催化敏感薄膜；S4：热电偶材料的制备；S1＋S4的下一步为S5：印刷热电偶薄膜；S3＋S5的下一步为S6：高温活化处理；S6的下一步为S7：组装用于甲烷气体检测的气敏传感器。本发明克服了现有技术采用桥式电路检测原理制备的催化式甲烷传感器所存在的参比元件电阻值匹配要求高，长时间工作于高温下增加了器件的功耗，会导致器件寿命缩短的缺陷。