SnO2单晶体式气敏传感器制作方法

摘要

介绍一种改良的SnO2单晶体式气敏传感器制作方法,巧用加热老化工艺使传感器的气体灵敏度获得大幅提高,从而解决了一直存在的难题,拓宽了应用.此工艺不仅适用于氢、甲烷的检测,而且还同样适用于乙醇、丙烷、一氧化碳、氨气、氧气、水蒸汽等的检测.