电子束辐照对SnO2传感器气敏性能的影响

摘要

SnO2是目前应用最广泛的一种气敏材料,在金属氧化物半导体电阻式气体传感器中处于中心地位,且具有许多优点,但其作为敏感材料也存在一定缺点.为了找到合适的方法改善SnO2传感器的气敏性能,发挥其主要优势,克服不利因素,研究人员从多种方面作了许多工作.本文采用的电子辐射法可有效改善SnO2材料的气敏性能,研究了在不同的辐射时间、剂量条件下,SnO2气敏传感器的灵敏度与气体浓度、辐射时间、剂量的关系,并得出了一些基本的规律.