公开/公告号CN106373961B
专利类型发明专利
公开/公告日2019-07-19
原文格式PDF
申请/专利权人 上海华力微电子有限公司;
申请/专利号CN201610884377.7
申请日2016-10-10
分类号
代理机构上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙);
代理人吴世华
地址 201210 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号
入库时间 2022-08-23 10:36:21
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-07-19
授权
授权
2017-03-01
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L27/11517 申请日:20161010
实质审查的生效
2017-03-01
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 27/11517 申请日:20161010
实质审查的生效
2017-02-01
公开
公开
2017-02-01
公开
公开
机译: 形成具有带区和外围逻辑器件区的浮栅存储单元的半导体阵列的方法
机译: 形成具有带区和外围逻辑器件区的浮栅存储单元的半导体阵列的方法
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