半导体集成电路的布线设计方法以及半导体集成电路

摘要

在半导体集成电路的布线设计中，通过确保在具备具有布线图案的多个布线层以及连接这些布线层之间的多个通路的中继布线层中的布线通路的密度，确保布局图案的规则性和均匀性，从而在半导体集成电路微细加工中提高控制性和提高成品率。根据预先具有规则性地形成了布线图案的2个基本布线图案层和位于它们之间的预先具有规则性地形成通路的基本通路阵列层进行设计，由此在制造工艺以及产品中提高作业的容易性和可靠性。