НЕКОТОРЫЕ АСПЕКТЫ ПРОИЗВОДСТВА ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МИКРОСХЕМ: ЗАКОНЫ МУРА, МЕЖДУНАРОДНАЯ ТЕХНОЛОГИЧЕСКАЯ КАРТА ДЛЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВ И ОСНОВНЫЕ ВЫЗОВЫ В СОВРЕМЕННОЙ ТЕХНОЛОГИИ ПРОИЗВОДСТВА ИНТЕГРАЛЬНЫХ МИКРОСХЕМ

摘要

В данном кратком обзоре рассматриваются и обсуждаются некоторые главные проблемы производства полупроводниковых микросхем, такие как 1-й и 2-й законы Мура, международная технологическая карта для полупроводников, последние тренды технологии производства, исследования и развитие и текущие производственные вызовы такие как проблемы фундаментальные (Пуассоновский дробовой шум - статистическая флюктуация- для ряда частиц типа атомов, заполняющих элементарный безразмерный объем ), технологические проблемы -улучшенная технология структуры и литография экстремального ультрафиолета, конструирование оборудования для производства современных микросхем и имеющие к этому отношение бизнес факторы (экстремально высокая стоимость производства и возможности исследований и развития).