一种内置MEMS六轴传感器产品的校准方法及校准系统

摘要

本发明公开了一种内置MEMS六轴传感器产品的校准方法，包括如下步骤：设置传动装置A、B、测试平台；控制传动装置A、B带动测试平台绕X轴方向或Y轴方向，按预设角度从起点运动到终点，在每个角度上静放一定时间，然后读出当前被测物上的传感器数据；把每个角度上读出的传感器数据转化为坐标点，拟合实际状态运动轨迹坐标系N与理想状态运动轨迹坐标系M，得到当前运动轨迹的误差角度β，计算误差角度tanβ进行校准补偿，补偿后的输出结果，然后把误差补偿数值写入产品内部存储器；在产品使用过程中，读取传感器的实时数据，并根据传感器当前的状态，对应误差补偿值进行修正，实现传感器校准。本发明还公开了实现该方法的校准系统。