共掺杂铒和氮的p型氧化锌材料制作方法

摘要

本发明属于氧化锌薄膜制作技术领域，具体提供了共掺杂铒和氮的p型氧化锌材料制作方法，通过离子束发生装置得到铒离子束和氮离子束，铒离子束和氮离子束经过质量分析器后进入加速装置，然后经过中性束偏移器，然后经过聚焦装置聚焦成混合离子束，最后经过偏转扫描装置后入射到氧化锌薄膜上，并通过飞秒激光退火装置对氧化锌薄膜进行瞬态退火。通过精确的工艺工序得到了掺杂铒和氮的p型氧化锌材料，并经过后处理得到p型氧化锌薄膜半导体材料，该材料性能可靠稳定，且具有高空穴密度的特点；该制作方法具有可重复性操作的特点，当制作平台建立后便可以不断生产共掺杂铒和氮的p型氧化锌薄膜半导体材料，利于大规模生产。