公开/公告号CN107004559B
专利类型发明专利
公开/公告日2019-07-05
原文格式PDF
申请/专利权人 MKS仪器有限公司;
申请/专利号CN201580062727.5
申请日2015-12-02
分类号
代理机构北京德琦知识产权代理有限公司;
代理人梁洪源
地址 美国马萨诸塞州
入库时间 2022-08-23 10:35:22
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-07-05
授权
授权
2017-08-25
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J37/32 申请日:20151202
实质审查的生效
2017-08-25
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/32 申请日:20151202
实质审查的生效
2017-08-01
公开
公开
2017-08-01
公开
公开
2017-08-01
公开
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