清洁片材、具有清洁功能的传递部件和对基材加工设备清洁的方法

摘要

本发明披露一种用于应远离杂质的基材加工设备的清洁片材，例如用于制备和检查半导体、平板显示器、印刷基板的设备，具有清洁功能的传递部件和清洁方法。本发明提供：一种清洁片材，其包含作为清洁层的多孔层；或一种清洁片材，其包含具有多孔层的片状材料，以及形成在该片状材料一侧上的胶粘剂层。