基于热阴极规的静态升压法材料放气率测量装置及方法

摘要

本发明涉及一种基于热阴极规的静态升压法材料放气率测量装置及方法，属于测量领域。所述装置中：高真空样品室、第一真空阀门、第一、二小孔、第一、二分子泵和干泵依次通过真空管路串联连接；热阴极电离规B或质谱计连接在第一、二小孔间的真空管路上；电阻真空规连接在第二小孔和第一分子泵间的真空管路上；第二真空阀门两端分别通过真空管路与第一真空阀门出口和第一分子泵入口相连；热阴极电离规A连接在第一、二真空阀门之间的真空管路上。通过采用所述装置间接测量待测气体压强，可有效解决热阴极电离规或质谱计对待测气体具有抽速，直接用于静态定容升压法测量材料放气率时存在显著误差的问题，提高测量精确度。