基于光栅尺和二维PSD的平面电机动子位置测量系统及方法

摘要

基于光栅尺和二维PSD的平面电机动子位置测量系统及方法，属于半导体装备技术领域。本发明采用的测量系统包括一个X方向光栅尺，一个Y方向光栅尺以及三个激光头和三个二维PSD传感器。其中X方向光栅尺和Y方向光栅尺分别对平面电机动子在X方向和Y方向的主要行程进行测量，而每一对激光头和二维PSD传感器都可以测量动子在X、Y和Z三个方向中指定的两个方向的位移，三对激光头和二维PSD传感器可以覆盖动子在X、Y和Z三个方向的运动信息；本发明提供的测量方法基于以上测量系统测得的数据进行动子位置解算，可以得到平面电机动子在平面电机定子固定坐标系下全部六自由度的位移。