大口径SiC反射镜镀膜支撑装置

摘要

大口径SiC反射镜镀膜支撑装置，属于光学薄膜镀制技术领域。解决了如何提供一种适用于大口径SiC反射镜磁控溅射镀膜的支撑装置的技术问题。本发明的支撑装置，包括工件盘、支撑柱和限位柱；支撑柱由托盘、半球体、第一T型柱、第一限位销、弹簧、第一调节螺栓和第一T型底座组成，支撑柱的个数至少为三个；限位柱由限位板、第二T型柱、第二限位销、第二调节螺栓和第二T型底座组成，限位柱至少为三个；支撑柱和限位柱交替固定在工件盘上，且支撑柱分布的圆周的直径小于限位柱分布的圆周的直径。该支撑装置具有调节高度和自动调水平的功能，且支撑口径不受限制，安装灵活，尤其适用于大口径RB‑SiC反射镜镀制改性层和高反射膜时的支撑。