法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-06-14
授权
授权
2016-04-13
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L29/786 申请日:20140306
实质审查的生效
2016-04-13
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 29/786 申请日:20140306
实质审查的生效
2015-10-28
公开
公开
2015-10-28
公开
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机译: 用于金属氧化物半导体TFT的介电膜的针孔评估方法
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