公开/公告号CN105229799B
专利类型发明专利
公开/公告日2019-06-14
原文格式PDF
申请/专利权人 赛腾高新技术公司;
申请/专利号CN201480028263.1
发明设计人 兹比格卢·库茨尼奇;帕特里克·梅里埃斯;
申请日2014-05-13
分类号
代理机构广州市华学知识产权代理有限公司;
代理人陈燕娴
地址 法国凡尔赛
入库时间 2022-08-23 10:34:36
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-06-14
授权
授权
2016-06-08
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L31/068 申请日:20140513
实质审查的生效
2016-06-08
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 31/068 申请日:20140513
实质审查的生效
2016-01-06
公开
公开
2016-01-06
公开
公开
机译: 在硅材料内部形成的纳米结构单元及其制造工艺
机译: 在硅内形成金属的成组的纳米结构单元系统及其制造过程和形成过程
机译: 在硅内形成金属的成组的纳米结构单元系统及其制造过程和形成过程