公开/公告号CN106910786B
专利类型发明专利
公开/公告日2019-05-31
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院半导体研究所;
申请/专利号CN201710158556.7
申请日2017-03-16
分类号H01L31/0352(20060101);H01L31/109(20060101);H01L31/18(20060101);
代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;
代理人任岩
地址 100083 北京市海淀区清华东路甲35号
入库时间 2022-08-23 10:34:14
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-05-31
授权
授权
2017-07-25
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L31/0352 申请日:20170316
实质审查的生效
2017-07-25
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 31/0352 申请日:20170316
实质审查的生效
2017-06-30
公开
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2017-06-30
公开
公开
2017-06-30
公开
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