法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-06-18
授权
授权
2017-09-05
实质审查的生效 IPC(主分类):C01B33/00 申请日:20170410
实质审查的生效
2017-09-05
实质审查的生效 IPC(主分类):C01B 33/00 申请日:20170410
实质审查的生效
2017-08-11
公开
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2017-08-11
公开
公开
2017-08-11
公开
公开
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机译: 由氢氟酸溶液制备多晶硅的方法和一种制备多晶硅的厂
机译: 由四氢硅氟酸溶液制备多晶硅的方法以及一种生产四氟化硅和多晶硅的工厂
机译: 由四氢硅氟酸溶液制备多晶硅的方法以及一种生产四氟化硅和多晶硅的工厂