公开/公告号CN106549007B
专利类型发明专利
公开/公告日2019-06-07
原文格式PDF
申请/专利权人 无锡华润华晶微电子有限公司;
申请/专利号CN201510591497.3
申请日2015-09-16
分类号
代理机构北京国昊天诚知识产权代理有限公司;
代理人许志勇
地址 214028 江苏省无锡市太湖国际科技园菱湖大道180号-22
入库时间 2022-08-23 10:33:31
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-06-07
授权
授权
2017-04-26
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L25/07 申请日:20150916
实质审查的生效
2017-04-26
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 25/07 申请日:20150916
实质审查的生效
2017-03-29
公开
公开
2017-03-29
公开
公开
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