气浮平台、气浮装置及玻璃基板传送装置

摘要

本发明公开了一种气浮平台、气浮装置及玻璃基板传送装置，其中气浮平台用于放置玻璃基板，包括沿高度方向由下至上贴合叠放的进气层(10)和出气层(20)，进气层的顶部形成有周向封闭的凹槽，该凹槽的底部形成有沿高度方向贯穿进气层的进气孔(11)，以连接进气管接头(40)，出气层上均匀地布设有沿高度方向贯穿出气层的出气孔(21)，出气孔通过凹槽与进气孔连通。使用气流支撑玻璃基板，避免玻璃基板在运输过程中与支撑装置接触，从而防止造成划伤和污染，进而提高玻璃基板的成品率，提高工作效率。