干式真空泵装置和真空排气系统

摘要

本发明提供干式真空泵装置和真空排气系统，在负载增大时能够不使马达及逆变器发生故障地稳定运转。一种具有至少1个泵单元和控制泵单元的控制装置(5)的干式真空泵装置(1)，泵单元具有干式真空泵(2)、驱动干式真空泵(2)的马达(3)、和控制马达(3)的转速的逆变器(4)，控制装置(5)具有将逆变器(4)的输出电流限制值从第1电流限制值切换为第2电流限制值的功能，第1电流限制值是逆变器(4)能够连续流向马达(3)的电流的最大值即连续额定电流值，第2电流限制值是超过连续额定电流值的值。