一种利用纳米结构的金属界面的键合方法

摘要

本发明提供了一种利用纳米结构的金属界面的键合方法。本发明基于纳米界面特殊的尺度效应、电流集聚效应、电迁移效应，在力电热多物理场作用下实现低温低压的热压键合工艺，周期性变向的电流脉冲和电场施加间隔期足够的驰豫时间能够减少界面键合缺陷。该方法操作简单，与微电子工艺兼容，在微系统封装、光电集成器件等领域具有广泛应用前景。