一种基于回归学习的工艺参数优化分析方法

摘要

本发明公开了一种基于回归学习的工艺参数优化分析方法，包括：选取一组工艺参数，求其工作参数与表现参数之间的互相关矩阵，获取关联性大于预设值的工作参数；将关联性大于预设值的工作参数抽取两组，一组做训练用，一组做验证用，将未经关联性验证的表现参数抽取两组，作为训练用的第一表现参数和作为验证用的第二表现参数；采用线性回归方法，将第一工作参数的数据与第一表现参数的数据作为训练序列，求解得关联第一工作参数和第一表现参数的初始系数矩阵；将第二工作参数的数据带入初始系数矩阵，得预测表现参数的数据，求预测表现参数的数据与第二表现参数的数据之间的均方根误差，在均方根误差接近于0时，获得经验证的系数矩阵。