用于高速显微扫描的动态对焦装置及对焦跟踪方法

摘要

本发明提供了一种用于高速显微扫描的动态对焦装置及对焦跟踪方法，包括：物镜、液体透镜离焦探测模块、智能对焦相机、对焦跟踪执行模块、对焦控制模块；液体透镜离焦探测模块用于将连续扫描过程的不同离焦面的物方在智能对焦相机靶面上成像；智能对焦相机连续采集并处理离焦探测图像进行离焦偏移编码；对焦跟踪执行模块驱动物镜和样本同时实现XY平面扫描运动和Z轴对焦运动；对焦控制模块控制液体透镜离焦探测模块进行连续离焦状态探测，并根据智能对焦相机的离焦偏移编码，控制对焦跟踪执行模块实现扫描运动和对焦运动的协同。本发明中的方法包括：起始对焦阶段和对焦跟踪阶段，能够大幅提高对焦响应速度和对焦跟踪精度。