一种用于强磁场测量的平面扭转式微传感器

摘要

本发明涉及一种用于X、Y方向强磁场测量的平面扭转式微传感器。包括依次连接的基底、传感器本体和封盖，其中传感器本体分为线圈电极锚区、扭转平面、电容电极锚区三部分，其中线圈电极锚区和电容电极锚区分别位于扭转平面中部的Y方向两侧外部，扭转平面中部的Y方向两侧分别向内凹，最后基底、传感器本体和封盖通过键合形成内部真空的平面扭转式微传感器。本发明实现了托卡马克的强磁环境下的X、Y方向的磁场大小的测量，通入交流信号的金属线圈在磁场下受到洛伦兹力作用，带动扭转平面有往受力方向扭转的趋势，使扭转平面以某一频率机械振动，引起上下极板间电容变化，进而推算出所测量的磁场大小。