公开/公告号CN106062921B
专利类型发明专利
公开/公告日2019-05-07
原文格式PDF
申请/专利权人 应用材料公司;
申请/专利号CN201580008206.1
申请日2015-02-16
分类号
代理机构北京律诚同业知识产权代理有限公司;
代理人徐金国
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 10:31:36
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-05-07
授权
授权
2017-04-12
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/02 申请日:20150216
实质审查的生效
2017-04-12
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/02 申请日:20150216
实质审查的生效
2016-10-26
公开
公开
2016-10-26
公开
公开
机译: 智能腔室和智能腔室组件
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