法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-05-03
授权
授权
2017-06-27
著录事项变更 IPC(主分类):G03F7/027 变更前: 变更后: 申请日:20150520
著录事项变更
2017-06-27
著录事项变更 IPC(主分类):G03F 7/027 变更前: 变更后: 申请日:20150520
著录事项变更
2015-09-09
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/027 申请日:20150520
实质审查的生效
2015-09-09
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/027 申请日:20150520
实质审查的生效
2015-08-12
公开
公开
2015-08-12
公开
公开
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