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堆积物状态推定装置、堆积物状态推定方法及堆积物状态推定系统

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摘要

提供一种堆积物状态推定装置、堆积物状态推定方法及堆积物状态推定系统，其能够推定隔膜的受压面上所堆积的堆积物的状态。根据未堆积有堆积物(PM)的初始状态的隔膜(32)发生共振的初始电源频率(rf1)和堆积有堆积物(PM)之后的隔膜(32)发生共振的电源频率(rf2)，能够推定堆积物(PM)的状态，因此即使在隔膜(32)上仅堆积有一点点堆积物(PM)的不产生零点漂移的阶段，也能够推定堆积物(PM)的状态。

著录项

公开/公告号CN106017776B

专利类型发明专利
公开/公告日2019-05-03

原文格式PDF
申请/专利权人阿自倍尔株式会社;
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申请/专利号CN201610164516.9
发明设计人枥木伟伸;石原卓也;
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申请日2016-03-22
分类号
代理机构上海市华诚律师事务所;
代理人徐乐乐
地址日本东京都千代田区丸之内2丁目7番3号东京大楼
入库时间 2022-08-23 10:30:46

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2019-05-03

授权

授权
2016-11-09

实质审查的生效 IPC(主分类):G01L9/00 申请日:20160322

实质审查的生效
2016-11-09

实质审查的生效 IPC(主分类):G01L 9/00 申请日:20160322

实质审查的生效
2016-10-12

公开

公开
2016-10-12

公开

公开

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