公开/公告号CN105556644B
专利类型发明专利
公开/公告日2019-04-19
原文格式PDF
申请/专利权人 英特尔公司;
申请/专利号CN201380079183.4
申请日2013-09-27
分类号
代理机构永新专利商标代理有限公司;
代理人陈松涛
地址 美国加利福尼亚
入库时间 2022-08-23 10:30:40
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-04-19
授权
授权
2016-09-28
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/31 申请日:20130927
实质审查的生效
2016-09-28
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/31 申请日:20130927
实质审查的生效
2016-05-04
公开
公开
2016-05-04
公开
公开
机译: 通过选择性化学反应在小区域上形成材料层,包括限制相邻区域上的层接触
机译: 通过选择性化学反应(包括对邻近区域的层进行限制包埋)的选择性化学反应在较小区域形成材料的层
机译: 通过选择性化学反应(包括对邻近区域的层进行限制包埋)的选择性化学反应在较小区域形成材料的层