公开/公告号CN106574392B
专利类型发明专利
公开/公告日2019-03-29
原文格式PDF
申请/专利权人 爱思开矽得荣株式会社;
申请/专利号CN201580041826.5
申请日2015-07-10
分类号C30B15/20(20060101);C30B29/06(20060101);
代理机构31100 上海专利商标事务所有限公司;
代理人张佳鑫;沙永生
地址 韩国庆尚北道
入库时间 2022-08-23 10:29:27
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-03-29
授权
授权
2019-02-26
著录事项变更 IPC(主分类):C30B 15/20 变更前: 变更后: 申请日:20150710
著录事项变更
2019-02-26
著录事项变更 IPC(主分类):C30B 15/20 变更前: 变更后: 申请日:20150710
著录事项变更
2017-05-17
实质审查的生效 IPC(主分类):C30B15/20 申请日:20150710
实质审查的生效
2017-05-17
实质审查的生效 IPC(主分类):C30B15/20 申请日:20150710
实质审查的生效
2017-05-17
实质审查的生效 IPC(主分类):C30B 15/20 申请日:20150710
实质审查的生效
2017-04-19
公开
公开
2017-04-19
公开
公开
2017-04-19
公开
公开
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机译: 硅单晶生长装置及使用该装置的硅单晶生长方法
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