一种突破外观缺陷机台检测极限的方法

摘要

本发明提供了一种突破外观缺陷机台检测极限的方法，包括：第一步骤：对曝光单元进行逻辑分割以建立虚拟曝光单元；第二步骤：将虚拟曝光单元中的芯片区域进行重新分配，以建立新的检测区域；其中，所述新的检测区域处于外观缺陷机台检测极限之内；第三步骤：将所述新的检测区域中的切割道部分去除，以避免因切割道被扫描而出现虚假缺陷信号；第四步骤：利用外观缺陷检测机台针对所述新的检测区域进行外观缺陷检测。