一种测量透射电子显微镜照明电子束偏离光轴的大小和方向的方法

摘要

本发明公开了一种测量透射电子显微镜中照明电子束偏离光轴(倾转)的大小和方向的方法。该方法是通过测量高分辨像的功率谱中特定非线性反射斑点的相位随欠焦量的变化实现的。本发明解决了长久以来没有精确方法定量测量该物理参数的问题，为定量测定分析材料的三维结构和成分建立了基础，也为透射电子显微镜的精确测试和运行状态的科学评估提供了一种定量评价照明电子束偏离光轴的大小与方向的技术方法。