法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-03-29
授权
授权
2017-10-10
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/35 申请日:20170417
实质审查的生效
2017-10-10
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/35 申请日:20170417
实质审查的生效
2017-09-08
公开
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2017-09-08
公开
公开
2017-09-08
公开
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机译: 磁控靶溅射的磁控阴极
机译: 用于涂覆基底表面的磁控阴极由环形靶构成,该环形靶具有板状构造,该靶围绕布置为定子的第一轭部的中央部分布置
机译: 冷却系统,例如一种用于CD涂层的磁控阴极靶,具有一个扁平轴承环,该轴承环带有用于U形活塞四肢的凹槽,以在该环和活塞内部之间形成冷却通道