用于测量转轴六自由度几何误差的激光测量系统及方法

摘要

本发明公开了一种用于检测转轴六自由度几何误差的激光测量系统及方法，系统包括：激光发射单元、六自由度误差测量单元、六自由度误差敏感单元和可安装于待测转轴的伺服跟踪单元，六自由度误差测量单元向六自由度误差敏感单元出射光，并根据出射光和六自由度误差敏感单元的反射光与后向反射光生成测量信号，伺服跟踪单元包括：四维调节机构，实现四维调节；固定安装在四维调节机构上的电机；用于测量电机旋转角度的角度测量传感器；固定在四维调节机构上且与电机同轴旋转的安装平面，安装六自由度误差敏感单元；和根据来自六自由度误差测量单元的测量信号，控制伺服跟踪单元的控制电路。本发明可实现对转轴六自由度几何误差的同时快速测量。