一种镧钙锰氧-镧锶锰氧-钛酸锶铅复合薄膜及其制备方法

摘要

本发明涉及一种镧钙锰氧‑镧锶锰氧‑钛酸锶铅复合薄膜及其制备方法，所述复合薄膜包括依次层叠形成在基底上的镧钙锰氧薄膜层、镧锶锰氧薄膜层和钛酸锶铅薄膜层。本发明提供的复合薄膜具有表面粗糙度低、无微裂纹、性能稳定且同时具有良好铁磁性能、铁电性能及室温磁电容效应等优点，且可与半导体集成电路技术相兼容，适用性强；本发明提供的方法原料廉价、无毒，制备过程中无有毒气体排放，环境污染小；本发明制备工艺简单，无需特殊设备，有利于规模化生产。