镧钙锰氧薄膜表面微裂纹的控制

摘要

采用脉冲激光沉积镀膜的方法，在钛酸锶单晶基片上制备了具有自发生成的有序微裂纹结构的La<,0.5>Ca<,0.5>MnO<,3>(LCMO)薄膜。通过制备工艺的优化，获得了具有不同裂 纹密度的LCMO薄膜，并采用离子刻蚀技术改善裂纹的微结构实现裂纹宽度的精确控制。这为单条微裂纹隧道结的制备提供了很大的方便。文中详细地讨论了薄膜制备工艺与薄膜结构的关系，以及薄膜表面的改善方法。