一种深层固化型固结磨料抛光垫的制备方法

摘要

本发明涉及固结磨料抛光垫的制备方法，属于化学机械抛光敷料制备技术领域。本发明以正丙醇锆为前驱体，复合环氧树脂与丙酮为介质，静电纺丝制备高折光纤维后，将高折光纤维与碳化硅磨料混合球磨并与其他物料进行共混，通过紫外光固化过程中，紫外光通过高折光材料的作用下，深入至固结磨料抛光垫深层进行紫外固化，有效改善固结磨料抛光垫固化速率和均一固化程度，有效改善抛光垫使用性能。本发明深层固化型固结磨料抛光垫干态铅笔硬度为3～4H，湿态铅笔硬度为3H/3～5B，溶胀率为2.67～3.56%，具有较长的使用寿命和较高的工作效率。