低温多晶硅薄膜的制备方法、薄膜晶体管及显示装置

摘要

本发明公开了一种低温多晶硅薄膜的制备方法、薄膜晶体管及显示装置，由于非晶硅薄膜上覆盖有氧化硅薄膜，利用氧化硅薄膜作为保温层，使非晶硅薄膜的温度可以得到保持，有利于非晶硅的晶化。由于预设区域是要形成低温多晶硅薄膜的区域，因此位于预设区域内的氧化硅薄膜的厚度较厚，以较好的保持晶化处理时预设区域内的非晶薄膜的温度，从而保证预设区域内形成的多晶硅的晶粒尺寸较大；并且，在除了预设区域之外其它区域内的氧化硅薄膜的厚度较薄，可以避免其它区域内的非晶硅薄膜的温度的温度急剧下降、造成预设区域边界处晶化环境不稳定，从而影响预设区域边界处形成的多晶硅的晶粒尺寸的均匀性。