公开/公告号CN106442557B
专利类型发明专利
公开/公告日2019-03-05
原文格式PDF
申请/专利权人 青岛软控机电工程有限公司;软控股份有限公司;
申请/专利号CN201510476149.1
申请日2015-08-06
分类号G01N21/892(20060101);
代理机构
代理人
地址 266000 山东省青岛市胶州市胶东街道办事处营旧路两侧工业园路南
入库时间 2022-08-23 10:27:27
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-03-05
授权
授权
2017-03-22
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N21/892 申请日:20150806
实质审查的生效
2017-03-22
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 21/892 申请日:20150806
实质审查的生效
2017-02-22
公开
公开
2017-02-22
公开
公开
机译: 飞机零件缺陷检测系统和飞机零件缺陷检测方法
机译: 用于缺陷检查,缺陷检测系统,薄膜制造设备,缺陷检测,缺陷检测方法和薄膜制造方法的成像装置
机译: 用于缺陷检查,缺陷检测系统,薄膜制造设备,缺陷检测,缺陷检测方法和薄膜制造方法的成像装置