法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-03-15
授权
授权
2017-06-09
实质审查的生效 IPC(主分类):B24B1/04 申请日:20161028
实质审查的生效
2017-06-09
实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 1/04 申请日:20161028
实质审查的生效
2017-05-17
公开
公开
2017-05-17
公开
公开
机译: 化学机械抛光设备,用于化学机械抛光设备的载体头,用于载体头的保持环以及用于化学机械抛光设备的方法
机译: 化学机械抛光水分散液制备装置,化学机械抛光水分散液的制备方法,化学机械抛光水分散液和化学机械抛光方法
机译: 化学机械抛光水分散液制备装置,化学机械抛光水分散液的制备方法,化学机械抛光水分散液和化学机械抛光方法