用于不规则样品检测的激光诱导击穿光谱样品室

摘要

本发明公开一种用于不规则样品检测的激光诱导击穿光谱样品室，包括透明密闭的腔室，腔室的底部中间设有可旋转升降平移的位移台；所述腔室的顶部设有支撑架，所述支撑架包括两平行且同步的第一滚珠丝杠，每个第一滚珠丝杠上配合有滑块，两滑块之间搭接有第二滚珠丝杠，所述第二滚珠丝杠装配可移动的台架，所述台架上安装有进行线扫描测量以确定样品待测点Z坐标的激光测距传感器；所述腔室的两侧对称安装CCD相机，用于确定样品待测点的X、Y坐标。本发明实现了对不规则靶样品全方位、多角度坐标信息的采集，提高了激光烧蚀点的准确定位，避免了烧蚀能量差异带来的误差。