N－羟基马来海松酸酰亚胺磺酸酯类光产酸剂及其合成方法

摘要

本发明涉及一类作为光产酸剂的N-羟基马来海松酸酰亚胺磺酸酯及其合成方法。这类光产酸剂的结构中具有N-羟基酰亚胺磺酸酯部分，因而具有光产酸性。本发明的光产酸剂在常用溶剂中具有很好的溶解性。用不含芳环的磺酰氯制得的这一类光产酸剂在193nm处有很好的透明性，适用于ArF(193nm)光刻胶。其另一个特点是具有酸解离基团。其原料易得，合成方法也比较简便。