光学自由曲面自适应非零位干涉检测系统

摘要

本发明公开了一种光学自由曲面自适应非零位干涉检测系统，包括自由曲面非零位干涉检测系统、自适应数据处理与控制系统，其中自由曲面非零位干涉检测系统包括稳频激光器、准直系统、分束器、参考平面镜、成像镜、探测器、可变形反射镜DM、反射镜、消球差镜；自适应数据处理与控制系统包括系统光线追迹模块、理论面形分解模块、DM形变控制模块、干涉图匹配处理模块、被测波前拟合模块和回程误差校正模块。本发明利用连续可变形反射镜DM可以实现不同Zernike低阶像差的补偿，通过系统光线追迹模型指导可变形反射镜形变，使得大曲率变化自由曲面的高精度通用化检测成为现实。